โพลียูรีเทนสำหรับแผ่นขัด CMP

CMP หรือชื่อเต็มของ Chemical Mechanical Polishing เป็นเทคโนโลยีการขัดเงาที่ได้รับความนิยมอย่างมาก ซึ่งผสมผสานการขัดเชิงกลแบบขัดถูและการกัดกร่อนทางเคมีของน้ำยาขัดเงา
ส่งคำถาม
คำอธิบาย

การผลิตชิปเป็นที่รู้จักในฐานะเพชรเม็ดงามของอุตสาหกรรมสมัยใหม่ และยังเป็นอุตสาหกรรมระดับไฮเอนด์ที่จีนให้ความสำคัญอีกด้วย

 

แม้ว่าขอบเขตการใช้งานของวัสดุโพลียูรีเทนส่วนใหญ่จะกระจุกตัวอยู่ในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น ฉนวนในอาคาร เฟอร์นิเจอร์และเครื่องใช้ไฟฟ้า รถยนต์ รองเท้าและเสื้อผ้า แต่ก็ยังมีวัสดุโพลียูรีเทนอยู่บ้างในการผลิตชิป เช่น แผ่นขัด CMP

 

CMP ได้รับการพัฒนาบนพื้นฐานของการขัดด้วยสารเคมีและการขัดด้วยกลไก แต่ในขณะเดียวกันก็เอาชนะข้อบกพร่องของการขัดด้วยกลไกแบบดั้งเดิมและการขัดด้วยสารเคมี

 

อุปกรณ์ CMP ประกอบด้วยโมดูลหลักสามโมดูล ได้แก่ การขัดเงา การทำความสะอาด และการส่งกำลัง ในระหว่างการดำเนินการ หัวขัดจะกดพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ที่จะขัดกับแผ่นขัดหยาบ และบรรลุการจัดระนาบทั่วโลกด้วยความช่วยเหลือของการกัดกร่อนของของเหลวขัด แรงเสียดทานของอนุภาค แรงเสียดทานของแผ่นขัด ฯลฯ

 

อุปกรณ์และวัสดุสิ้นเปลืองที่ใช้ในเทคโนโลยี CMP ได้แก่ เครื่องขัด สารละลายขัด แผ่นขัด อุปกรณ์ทำความสะอาดหลัง CMP อุปกรณ์ตรวจจับจุดสิ้นสุดการขัดเงาและอุปกรณ์ควบคุมกระบวนการ อุปกรณ์บำบัดและทดสอบของเสีย ฯลฯ

 

เครื่องขัด สารละลายขัดเงา และแผ่นขัดเงาเป็นองค์ประกอบสำคัญสามประการของกระบวนการ CMP ประสิทธิภาพและการจับคู่ซึ่งกันและกันจะกำหนดระดับความเรียบของพื้นผิวที่ CMP สามารถทำได้ ในกระบวนการขัดเงา วัสดุที่สำคัญที่สุดสองชนิดคือน้ำยาขัดและแผ่นขัด

 

แผ่นขัดเงา CMP จำเป็นต้องมีความต้านทานการกัดกร่อน ความชอบน้ำ และคุณสมบัติทางกลที่ดี โดยทั่วไปทำจากโฟมโพลียูรีเทนแบบเซลลูลาร์ที่มีความแข็งและมีร่องที่มีอัตราส่วนกว้างยาวแคบ โพลียูรีเทนมีความยืดหยุ่นและทนต่อการสึกหรอได้ดี และสามารถรักษาประสิทธิภาพที่ค่อนข้างคงที่ภายใต้ฤทธิ์กัดกร่อนคงที่ ในเวลาเดียวกัน ในระหว่างกระบวนการขัดเงา micropores (คุณสมบัติทางกลและคุณสมบัติการดูดซับน้ำที่มีรูพรุน) บนพื้นผิวของแผ่นขัดโพลียูรีเทนโฟมแข็งสามารถทำให้พื้นผิวของแผ่นขัดนุ่มและทำให้หยาบขึ้น และสามารถเก็บอนุภาคที่มีฤทธิ์กัดกร่อนไว้ใน น้ำยาขัดเงา

 

ไมโครพอร์เหล่านี้ยังสามารถรวบรวมวัสดุกำจัดกระบวนการ ขนส่งของเหลวขัดเงา และรับประกันการกัดกร่อนของสารเคมี ซึ่งเป็นประโยชน์ในการปรับปรุงความสม่ำเสมอของการขัดเงาและประสิทธิภาพการขัดเงา

 

ป้ายกำกับยอดนิยม: ยูรีเทนสำหรับแผ่นขัด cmp ประเทศจีน ยูรีเทนสำหรับผู้ผลิตแผ่นขัด cmp ซัพพลายเออร์ โรงงาน, โครงการโพลียูรีเทน, เกรดอิเล็กทรอนิกส์โพลียูรีเทน, โพลียูรีเทนสำหรับรองเท้า, ผู้ผลิตสารประกอบโพลียูรีเทน, การขัดโพลียูรีเทน, ผู้มีส่วนได้เสียโพลียูรีเทน